全球领先的200mm纯晶圆代工厂──华虹半导体有限公司与上海硅睿科技有限公司今日共同宣布，联合推出新一代单芯片三轴陀螺仪QMG6982。这标志着由硅睿科技和华虹半导体共同研发和生产的国内首款完全拥有自主知识产权的单芯片三轴陀螺仪在上海问世。此为继双方2013年以来成功发布磁传感器和加速度传感器之后又一款里程碑的产品。该款陀螺仪芯片由硅睿科技自主研发，采用华虹半导体先进的微机电系统(MEMS)制造技术合作而成。双方通过设计和工艺创新，首次将MEMS陀螺仪器件和专用集成电路(ASIC)器件集成在单一硅片上，从而简化了内部连线，减少了内部封装的绑定金线，提升了封装可靠性，因此较上一代产品体现出更高的性能和良率。硅睿科技总裁谢志峰博士说，“陀螺仪是运动传感器中最具挑战性的一款产品，目前智能终端市场完全被少数几个国际大公司的产品所垄断。硅睿科技开发的QMG6982产品是国内MEMS设计企业的一次突破性创新，满足了客户对低成本和高性能MEMS传感器日益增长的需求。其所具有的小尺寸、低功耗、高精度、抗干扰的优异特点，再次证明硅睿科技的研发能力已达到国际先进水平。尤其值得一提的是，作为一家专注MEMS传感器产品研发和生产的高科技企业，三年来，已与华虹半导体共同推出了五款传感器产品。双方日益成熟的战略合作，进一步增强了各自在MEMS产业链上的优势地位，而双方创导的『中国创造与中国制造』的理念，更凸显出其技术和资本优势，并成为全球MEMS市场上的一支新兴力量。 ”“凭借研发创新实力，华虹半导体在200mm CMOS-MEMS制造平台上，成功实现了MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容，可为客户提供单芯片集成CMOS-MEMS体硅和表硅工艺，帮助客户提高传感器产品的性能和竞争优势。华虹半导体将充分利用其业界领先的嵌入式存储器、射频以及超低漏电CMOS技术工艺，针对不同的传感器应用，配以兼具功耗和面积优势的嵌入式存储器IP，以此减小系统功耗，并降低芯片成本。同时使MEMS设计更为灵活，应用空间更为广阔。”华虹半导体执行副总裁傅城博士如是说。傅城博士还表示，“根据IHS的资料，MEMS传感器市场于2014年的规模为93亿美元，并预测于2019年增至130亿美元，年复合增长率为7%。MEMS传感器是华虹半导体一个新的增长机会。我们正在加大与硅睿科技的合作，共同开发新兴高增长移动市场的MEMS传感器，并延伸至应用于物联网等其他MEMS传感器市场。”
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